12.5.3 A BIST Example for MEMS Comb Accelerometers一个典型的表面微机械梳齿式加速度计surface-micromachined comb accelerometer如下图所示这不就是微机电系统那门课里面讲的典型案例嘛没意思。这里首先讲了构成然后讲了原理和公式然后讲了工作过程示意如下图下图就进入正题展示的是具备dual-mode BIST功能的comb accelerometer结构讲了BIST的原理。12.5.4 Conclusions就是说MEMS的测试重要性越来越显著尤其是BIST。12.6 HIGH-SPEED I/O TESTINGI/O的速率发展也随着集成度提高得到了很大的提升但它还是不如芯片内部速率快比如主流处理器内部能跑到3-4GHz但是前端总线front-side bus (FSB)仅能跑到800Mbps这就极大地影响了处理器的架构比如就需要增大缓存容量去缓解FSB的带宽需求。